5822i 离子风机
5822i 离子风机的精巧设计是配合高端自动化制程设备内紧密的空间条件,和严格的静电防控要求,尤其适用于硬盘制造和半导体后段封测工业。
它能维持 <±3 V 的离子平衡,又可接连外置回馈系统以达至 <±1 V 的 效能。内置的离子平衡自动修正系统,能确保目标对象在精准控制中,减少维修次数和降低操作成本。配置的气流定向器,无须更多的空间,也能把精准平衡的离子直接吹到目标。
产品特点
• ±3V 或更好的离子平衡 (配合选配的外接回馈系统能达至 ±1V)
• 设备监控接口和声响报警
• 外置控制盒
• 符合洁净度 ISO 14644 Class 4 (Fed Std 209e Class 10)
优点
• 直送吹风设计能改善离子吹送和静电控制
• 对产品失误能作出快速反应
• 容许更弹性的安装位置,又能维持效能
• 适合在高要求的微污染控制环境使用
5822i 技术参数
型号 | 5822i |
输入电压 | 24 VDC @ 1A 外置 (100-240 VAC 50/60 Hz) 电源供应器 或 设备供电 |
消散时间1 | 由 1000V 至 100V @ 30 cm 工作距离,约 2-2.5 sec |
离子平衡 | <±3V,连接外置感应器:<±1V (典型) |
电离技术 | 稳态直流电离 |
静电针材质 | 钨合金,每组 8 根/风扇;选配钛金属针 |
风量输出 | 20.5 cfm (典型) |
符合洁净度 | ISO 14644-1 Class 4 (Fed Std. 209E Class 10) |
操作环境 | 10-35℃,30-65% RH (无冷凝) @ (ISO 14644-1 Class 7 或更好) |
LED 显示 | 控制盒:电源-绿,报警-红 |
风扇噪音 | <56 dB @ (在风机前 30.5 cm) |
安装 | 机底有 2 个相隔 3.05 cm 的安装孔 |
控制 | 离子平衡,选配的外接感应器的增益调整,电源/风扇开关– slow (可调)/off/fast |
封装 | Stainless steel |
体积 | 风机:11.5H x 8.3W x 6.1D cm;控制盒:2.5H x 13.2W x 6.0D cm |
重量 | 风机:0.51 kg;控制盒:0.25 kg |
保修期 | 两年有限保修 |
订购资料
92-5822i-001 | 风机组合-钨合金静电针 (包括:风机,控制盒,电源供应器套件 和 互连接线) | |
92-5822iC-001 | 风机组合-钛金属静电针 (包括:风机,控制盒,电源供应器套件 和 互连接线) | |
组合内容 (可另外订购) | 91-5822i | 风机-钨合金静电针 |
91-5822iC | 风机-钛金属静电针 | |
91-5822i-CTRL | 控制盒 | |
33-5820-01 | 5822i 配件套件(内容见下列) | |
33-5820-01 | 5822i 配件套件(包括 电源供应器套件,风机与控制盒的接线,FMS 输出与 Novx 感测器的接线) | |
33-1440-01 | 电源供应器套件 100-240 VAC 转 24 VDC 1A,互连接线 RJ-9 4P/4C 插头 (需另订电源线) | |
25-20660 | 电源电线 2.5m - 美式插头 | |
25-20710 | 电源电线 2.5m - 英式插头 | |
25-20735 | 电源电线 2.5m - 欧式插头 | |
25-20750 | 电源电线 2.5m - 中式插头 | |
33-25822i-10 | 风机安装支架 | |
33-25822i | 钨合金静电针更换组件 | |
33-25822iC | 钛金属静电针更换组件 |