产品介绍
TESC7080系列电子卡盘高压电源适用于静电卡盘半导体加工应用,可在300ms内提供所需的精确电压,并在 80ms内切换极性。这些定制设计,精准调节在半导体制程过程中提供保护。可提供对地参考可逆输出极性,还可提供浮地双极输出并带有相关的浮地接口。综合的故障诊断电路监测电源功能,并将状态数据传送到用户界面。采用紧凑、轻便封装,可OEM。
典型应用:E-Chuck;静电卡盘。
产品特点
对地参考,可逆输出;
浮地,双极性输出;
极性可切换;
综合故障诊断;
高压安全联锁;
提供OEM 定制。
产品规格
输入电压 | +24VDC±5%,最大 2A |
输出极性 | 浮地,双极性输出,极性可切换 |
最大输出电压 | 0至±10kV |
最大输出电流 | 3mA |
最大输出功率 | 30W |
电压调节 | 负载 |
转换速率 | 典型 80ms(40ms可定制) |
最大循环频率 | 10Hz |
过冲 | <设定值的10% |
纹波 | 10Vrms |
线路 | 在任何负载条件下,10%输入电压变化<0.1% |
负载 | 从零到满负载<1.3% |
上升和下降时间 | 上升时间(0V 至±2500V)和下降时间(±2500V 至0V)可分别编程,范围为300ms至 9.9s(在最终电压值的 1%以内) |
电压显示 | 分辨率=1V。 精度=实际输出的±1%(±8V偏置) |
电流显示 | 分辨率=1.25μ A。 精度=实际输出±100μ A偏移的±2% |
典型负载电容 | <20nF(对于其他负载电容,请联系泰思曼) |
保护 | 电弧和短路保护。配备输入和输出电流限制。输出电流限值可设置在0.1mA至3mA范围内。 连续电弧保护方式需定制 |
自动切换/解除卡盘功能 | 该装置具有手动和用户可配置的自动切换功能(消磁/去卡盘) |
通信 | 通过 RS-232/RS-485 串行接口或以太网进行控制。串行接口可通过前面板配置为 RS-232或RS-485 |
注意 | 当以太网连接到 LAN 端口时,串行通信被禁用 |
前面板控制 | 具有用于本地控制的前面板按钮 |
切换 | 手动改变输出极性 |
输出开/关 | 软开关方式控制高压输出 |
旋转控制/输入 | 用于导航和输入值更改 |
稳定性 | 预热 1 小时后,在恒定操作条件下,<0.1%/小时,<0.2%/8小时 |
温度系数 | 每摄氏度<50ppm。 满载时<0.1%p-p,最大输出 |
环境温度工作时 | 0˚C至45˚C |
环境温度储存时 | -35˚C至 85˚C |
湿度 | 0至85%RH,非冷凝 |
冷却 | 自然冷却 |