产品介绍
氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。
产品特点
极速响应精准检漏
多种系统控制随心选择
轻巧而紧凑,节省60%空间
功能丰富操作便捷,高可靠更智能
化繁为简加持独立算法
谐波去耦算法
超高速响应
启动所需反应时间更短
密封性检测更精准
全新构造结构
质谱室、电路板、外观尺寸
高鲁棒性低故障率
操作维护简单高效
稳定输入高效输出
配备RS232、RS485、LAN
多种通讯接口,经过各种极端的测试
能够在最恶劣的工况下稳定工作
具有数字和模拟量输出
满足远程操作系统集成需求
应用领域
锂电盖板、电芯、模组、水冷板、PACK包、3C、氢能源等
封装,芯片制造,真空机台,外延片,晶元。连接器,过滤器、光伏等
人工耳蜗、心脏起搏器、脑起搏器、内窥镜、胃镜、肠镜等
蒸发器、冷器、空调管路、压缩机、四通阀、热泵等
泵阀、铸件、真空管、燃气管、波纹管、LNG、专汽、低温槽车、真空炉、真空镀膜、加速器等
航空航天、中国兵器集团、船帕、中电集团、科研院所等
技术参数
型号 | SFJ-16M | SFJ-16M+ | |
性能指标 | 最小可检漏率(Pa·m3/s)/真空模式 | 真空模式(U儿TRA):5.0×10-13(氦抽速>5I/s) 真空模式(FINE):1.0×10-12(氦抽速2. 5l/s) | 5.0×10-13 |
最小可检漏率(Pa·m3/s) /吸枪模式 | 5.0×10-9 | 3.0×10-9 | |
最大允许检漏压力(Pa) | (ULTRA):40 (FINE):200 | 1800 | |
响应时间(s) | <1 | ||
启动时间(min) | ≤95s | ||
可检测质量 | 2,3,4(H2,He-3,He-4) | ||
人机界面 | 5寸彩色液晶触摸屏 | ||
基本配置 | 离子源 | 2根,铱涂覆氧化釔、自动切换 | |
前级泵 | 选配 | ||
I/O输入输出接口 | 8路输入、8路输出 | ||
通信接口 | RS232/485,LAN | ||
MES接口 | 标配 | ||
仪器物理尺寸(W)×(D)x(H),mm | 400×330×301 | 400×355×310 | |
检漏口规格 | (ULTRA):DN25 KF (FINE):DN16 KF | DN25 KF | |
电源 | DC24V | ||
运行温度 | 0至40℃ | ||
显示语言 | 中/英文 | ||
漏率显示 | 数字、柱状图、曲线图 |