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PCE-6V

沈阳科晶 小型等离子清洗机 PCE-6V

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:PCE-6V

产品规格
产品介绍
PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
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产品介绍

PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。PCE-6V小型等离子清洗机的样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现对样品的离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。设备体积小,操作简单,应用广泛。

 

产品特点

  • 采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。

  • 可短时间内彻底清洗掉有机污染物。

  • 清洗程度可达到分子级。

  • 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

  • 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。

  • 样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。

  • 广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

 

技术参数

电压

AC220V  10A

消耗功率

<500W(包括真空泵)

RF电源

输出功率100W,输出频率13.56MHz

腔体

Ø190mm×98mm

石英管

Ø180mm×55mm,壁厚7mm

内腔

Ø165mm×55mm

清洗电极

Ø120mm

样品台

Ø150mm,有效尺寸Ø140mm

样品台与电极间距

15mm-50mm可调

抽气管

Ø12mm

极限真空度

0.1Pa

工作真空度

60Pa-500Pa

气路数量

2路(选装)

流量控制器数量

1、2

流量显示仪

2通道

气路接口

Ø6mm

加热样品台

Ø100mm,加热样品温度200℃-500℃(选装)

冷却水压力

0.2KPa-0.4KPa

工作环境

温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

产品规格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

重量:20kg(不含真空泵)

可选配件

加热样品台、流量控制器(量程10、50、100,可增加通道数≤2)

 


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