产品介绍
PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。PCE-6V小型等离子清洗机的样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现对样品的离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。设备体积小,操作简单,应用广泛。
产品特点
采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。
可短时间内彻底清洗掉有机污染物。
清洗程度可达到分子级。
可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。
样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。
广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
技术参数
电压 | AC220V 10A |
消耗功率 | <500W(包括真空泵) |
RF电源 | 输出功率100W,输出频率13.56MHz |
腔体 | Ø190mm×98mm |
石英管 | Ø180mm×55mm,壁厚7mm |
内腔 | Ø165mm×55mm |
清洗电极 | Ø120mm |
样品台 | Ø150mm,有效尺寸Ø140mm |
样品台与电极间距 | 15mm-50mm可调 |
抽气管 | Ø12mm |
极限真空度 | 0.1Pa |
工作真空度 | 60Pa-500Pa |
气路数量 | 2路(选装) |
流量控制器数量 | 1、2 |
流量显示仪 | 2通道 |
气路接口 | Ø6mm |
加热样品台 | Ø100mm,加热样品温度200℃-500℃(选装) |
冷却水压力 | 0.2KPa-0.4KPa |
工作环境 | 温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m |
产品规格 | 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵) 重量:20kg(不含真空泵) |
可选配件 | 加热样品台、流量控制器(量程10、50、100,可增加通道数≤2) |