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沈阳科晶
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VTC-200-CE

沈阳科晶 半柜式清洗机 VTC-200-CE

品牌名称：沈阳科晶

产品型号：VTC-200-CE

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产品规格
产品介绍
VTC-200-CE半柜式清洗机采用直线导轨控制柱状液流沿 wafer.半径方向来回扫动,同时配备有去离子水淸洗和氮气吹干功能,采用高精度伺服电机控制 wafer的旋转
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产品介绍

VTC-200-CE半柜式清洗机采用直线导轨控制柱状液流沿 wafer.半径方向来回扫动,同时配备有去离子水淸洗和氮气吹干功能,采用高精度伺服电机控制 wafer的旋转,由七寸全彩触屏进行操作，全不锈钢机柜,耐腐蚀透明观察盖,丝杆直线导轨,不锈钢内腔,设计合理,经久耐用。伺服马达控制旋转速度和时间,自动控制显影、清洗和吹干,显影/清洗均匀性和重复性好。

 

产品特点

  • 不锈钢半柜式设计，触摸屏操作

  • 透明观察窗，带排废和抽风功能

  • 可移动式直线导轨清洗，行程可定制

  • 最多可配备四路清洗或氮气吹干系统

  • 可处理最大基片尺寸为8寸晶圆，向下兼容

  • 更大尺寸可定制

 

技术参数

旋转速度可调范围

20-10000rpm

加速度可调范围

0-50000rpm/s

标配直线导轨行程

100mm；最大移动速度:100mm/s

产品规格

尺寸：940mm(长)×800mm(宽)×1100mm（高）

标配两路喷液系统，扇形或柱形喷嘴可选

标配10L不锈钢压力桶两只，其它规格可选

清洗液或氮气加温系统可选配


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