沈阳科晶 紫外光旋转涂膜机 VTC-100PA-UV

产品介绍

VTC-100PA-UV型紫外光旋转涂膜机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、spin coater适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺。该机腔体采用聚丙烯材质，耐腐蚀且使用寿命长，可用于强酸、强碱溶液的涂覆。本机上盖具有紫外灯光照射的功能，尤其适用于对紫外光敏感的胶体，可使涂覆后的胶体迅速固化；此外紫外灯还具有聚合作用，可以把单体聚合成聚合物膜。上盖中心位置为注液孔，注液孔配有胶塞，当腔体需要密闭的环境时应将胶塞堵好。腔体带有进气孔，可在匀胶过程中对腔体通保护气。样件采用真空吸附方式进行固定，操作简单，使样件取放自如。配用专用定心工具可使样件很容易放在吸盘中心位置，以减少偏心带来的震动，避免造成飞片。根据样件的大小可以选择不同规格的吸盘，吸盘更换简单方便。本机使用精密直流无刷电机，启动快、速度稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。

产品特点

• 采用真空吸盘固定样件，样件固定牢固且取放简单方便；真空吸盘大小可根据需要进行定制。

• 该机上盖具有紫外灯光照射的功能，紫外光的强度可以在一定范围内进行调整。

• 本机上盖中心位置为注液孔，注液孔配有注液孔塞，当腔体需要密闭环境时可使用该孔塞将孔密闭。

• 该机带有保护气接孔，可对腔体通保护气。

• 电机部分、紫外灯光控制部分分别使用独立的电源进行控制。电机调速系统采用单板机+液晶显示屏进行控制，数值显示更直观可靠；紫光灯采用抗干扰性强的PLC控制器进行控制。

• 本机涂层速度为500-1000RPM，可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段,每段运行参数可独立设置，可使设备缓慢提升速度至极限速度，有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜，且不会过多浪费，节约材料。

• 紫光灯真空旋转涂膜机启动快速、转数稳定，可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。

• 在安装结构上，采取了减震措施，降低运转时的噪音。

• 腔体采用聚丙烯材质，使用寿命更长，提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能；机身采用铸铝结构，结实耐用且质轻。

安装要求

温湿度：10-85%RH (at 25℃ 无凝露） 温度： 0-45℃。

设备周围无强烈震源和腐蚀气体。

水：无需要

电：单相：AC220V 50Hz 国标三极插座 10A 必须有良好接地

气：真空负压（真空泵）  抽气流量不小于 70L/M（设备可通保护惰性气体）

工作台：建议 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固体水泥台最佳）

通风装置：无特殊要求

技术参数

标准配件

可选配件