沈阳科晶 3靶等离子溅射仪 VTC-16-3HD

产品介绍

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，放置样品的直径为Ø50mm，加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。

产品特点

• PLC控制面板，4.3″触摸屏，PID控温方式。

• 可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。

• 可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。

• 已通过CE认证。

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水：不需要

电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）

工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上

通风装置：不需要

技术参数

可选配件

KF25真空接口、卡箍、不锈钢波纹管（600mm）、旋片式真空泵（120L/M）、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材、加热型样品台