沈阳科晶 单靶等离子溅射仪 GSL-1100X-SPC-16

产品介绍

GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品表面的镀膜。GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；  特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用。GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪体积小，操作简单，适合用于实验室中对小样品的镀膜使用。

产品特点

• 设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

• 通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得极佳的镀膜效果。

• 钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

• 陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

• 根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

• 已通过CE认证。

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水：不需要

电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）

工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上

通风装置：不需要

技术参数

标准配件

金靶材1个、进气针阀1个、保险丝2个

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材