icon icon icon
banner图片
Image
VTC-600-4HD

沈阳科晶 四靶磁控溅射仪 VTC-600-4HD

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:VTC-600-4HD

产品规格
产品介绍
VTC-600-4HD四靶磁控溅射仪是新自主研制开发的镀膜设备
资料下载
渠道商
产品详情

产品介绍

VTC-600-4HD四靶磁控溅射仪是新自主研制开发的镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-4HD四靶磁控溅射仪配置四个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,三个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备,特别适用于实验室研究固态电解质及OLED等。

 

产品特点

  • 配置四个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜(靶枪可以根据客户需要任意调换)。

  • 可制备多种薄膜,应用广泛。

  • 体积小,操作简便。

  • 整机模块化设计,真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计,可根据用户实际需要调整。

  • 可根据用户实际需要选择电源,可以一个电源控制多个靶枪,也可多个电源单一控制靶枪。

 

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),  自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)及减压阀

工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

通风装置:需要

 

技术参数

电源电压

220V  50Hz

总功率

<3.5KW

腔体内径

Ø300mm

极限真空度

<   E-6mbar(配合本公司设备使用可达到E-5mbar)

工作温度

RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)

靶枪数量

4个

靶枪冷却方式

水冷

靶材尺寸

Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)

直流溅射功率

500W(可选)

射频溅射功率

300W

载样台

Ø140mm

载样台转速

1rpm-20rpm内可调

保护气体

Ar、N2等惰性气体

进气气路

质量流量计控制2路进气,1个流量为100 SCCM,1个流量为200 SCCM

产品规格

主机尺寸:850mm×760mm×660mm,
  整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm;
  重量:190kg

 

标准配件

名称

数量

直流电源控制系统

3套

射频电源控制系统

1套

膜厚监测仪系统

1套

分子泵(德国进口或者国产更大抽速)

1台

冷水机

1台

聚酯PU管(Ø6mm)

4m

 

可选配件

名称

功能类别

金、铟、银、铂等各种靶材

(可选)

可选配强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。

(可选)

 


相关产品
资料申请
在线留言