沈阳科晶 感应加热炉 SP-85KTC

产品介绍

2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC是一款较大型高温感应加热、熔炼炉系统，配备30KW感应加热器、8.5"（216mm）石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架，最高温度可以达到2000℃（使用时石英管内需通入保护性气体），是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的绝佳选择。

产品特点

• 采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。

• 设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

• 温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。

• 配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行系数转换，量程可到3.8×10E-5torr。

• 迷你型浮子流量计精度为4%。

• 配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

电：AC380V 50Hz（63A空气开关），必须有良好接地

气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）

工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

通风装置：需要

技术参数

注意事项

操作前，必须仔细阅读说明书，且操作人员需带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，流量小于200ml/min，需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压，若气压超过安全值，会引起石英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。

其他事项：本机可改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理化学气相沉积（HPCVD）系统