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SP-25TC
SP-25TC

沈阳科晶 25KW程序控温感应熔炼炉 SP-25TC

品牌名称:沈阳科晶

产品型号:SP-25TC

产品规格
产品介绍
25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC是一款小型程控感应熔炼系统
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产品详情

产品介绍

25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC是一款小型程控感应熔炼系统,配备有直径Ø100mm的石英管、不锈钢法兰、石墨坩埚、真空泵、水冷机和移动架,最大功率为25KW,是生长晶体和合金熔炼(熔点< 1700ºC)的理想选择。

 

产品特点

  • 配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。

  • 设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

  • 温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。

  • 配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可到3.8×10E-5 torr。

  • 配有双旋直连式机械泵。

 

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地

气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)

工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

通风装置:需要

 

技术参数

高频感应加热炉

工作电压

三相AC   380V  50Hz(需60A空气开关)

最大输入功率

15KW

振荡频率

30KHz-80KHz

循环比

80%

感应线圈

外径Ø120mm,内径Ø110mm,高50mm(可微调)

温度控制器

工作电压

AC208V-240V  单相

控温精度

±5℃

温度

连续工作温度1000℃-2000℃,最高工作温度1700℃(工作时间<30min)

最大升温速率

1℃/s(0-1000℃)、0.5℃/s(1200℃-1700℃)

石墨坩埚(易耗件)

高纯石墨坩埚

外径Ø40mm,内径Ø37.1mm,高100.5mm(可选购SiC涂层,涂在坩埚内部,以提高金属熔炼时的洁净度)

最大容量

样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2

石英管和密封法兰

石英管

外径Ø100mm,内径Ø92mm,长355mm

顶部法兰

不锈钢法兰,装有不锈钢针阀,设有1个铠装接口(可插入热电偶至石英管内部,更准确地测量样品温度)

底部法兰

设有不锈钢针阀和KF25接口(可通过波纹管与真空泵相连接)

水冷机

温度

5℃-30℃

水流速

16L/min

水箱容积

12L,采用不锈钢制作(建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果)

真空泵

工作电压

AC208V-240V单相

抽气速率

AC208V-240V单相

极限真空度

10-2torr(为了获得更高的真空度以达到更好的熔炼效果,可选购涡旋分子泵,真空度可达10E-5torr)

注意事项

操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行,流量小于200ml/min,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害。

其他事项:本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统


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