产品介绍
25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC是一款小型程控感应熔炼系统,配备有直径Ø100mm的石英管、不锈钢法兰、石墨坩埚、真空泵、水冷机和移动架,最大功率为25KW,是生长晶体和合金熔炼(熔点< 1700ºC)的理想选择。
产品特点
配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。
设有自动水压、过热、功率过高保护系统。
温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。
配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可到3.8×10E-5 torr。
配有双旋直连式机械泵。
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地
气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)
工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
通风装置:需要
技术参数
高频感应加热炉 | |
工作电压 | 三相AC 380V 50Hz(需60A空气开关) |
最大输入功率 | 15KW |
振荡频率 | 30KHz-80KHz |
循环比 | 80% |
感应线圈 | 外径Ø120mm,内径Ø110mm,高50mm(可微调) |
温度控制器 | |
工作电压 | AC208V-240V 单相 |
控温精度 | ±5℃ |
温度 | 连续工作温度1000℃-2000℃,最高工作温度1700℃(工作时间<30min) |
最大升温速率 | 1℃/s(0-1000℃)、0.5℃/s(1200℃-1700℃) |
石墨坩埚(易耗件) | |
高纯石墨坩埚 | 外径Ø40mm,内径Ø37.1mm,高100.5mm(可选购SiC涂层,涂在坩埚内部,以提高金属熔炼时的洁净度) |
最大容量 | 样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2 |
石英管和密封法兰 | |
石英管 | 外径Ø100mm,内径Ø92mm,长355mm |
顶部法兰 | 不锈钢法兰,装有不锈钢针阀,设有1个铠装接口(可插入热电偶至石英管内部,更准确地测量样品温度) |
底部法兰 | 设有不锈钢针阀和KF25接口(可通过波纹管与真空泵相连接) |
水冷机 | |
温度 | 5℃-30℃ |
水流速 | 16L/min |
水箱容积 | 12L,采用不锈钢制作(建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果) |
真空泵 | |
工作电压 | AC208V-240V单相 |
抽气速率 | AC208V-240V单相 |
极限真空度 | 10-2torr(为了获得更高的真空度以达到更好的熔炼效果,可选购涡旋分子泵,真空度可达10E-5torr) |
注意事项
操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行,流量小于200ml/min,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害。
其他事项:本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统