瑞士INFICON 氦气检漏仪 UL1000 Fab-宜器服务网

产品详情

产品介绍

工业真空和半导体制造中，真空泄漏检测的“干式”标准。

INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准。

通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了最佳的性价比。它提供最先进的 10-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景本底抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景本底水平状态持续进行泄漏测试。

所有特性都使您能够缩短泄漏测试工作的时间，同时确保可以经济实惠地检测出所有泄漏。

产品优势

通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
通过使用可选的背景抑制（Izero），避免需要进行多次泄漏测试。
通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度
通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护

产品应用

对清洁度要求严苛的工业真空设备制造
在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前
真空工具的维护工作，无论是否有泵的支持
工艺气体系统的检查和安装
半导体、平板显示器或太阳能电池制造

技术参数

Min. detectable leak rate for Helium (Vacuum mode)	mbar•L/s	< 5 • 10-12
Min. detectable leak rate for Helium (Sniffer mode)	mbar•L/s	< 5·10-8
Max. Inlet pressure GROSS mode	mbar	15
Max. Inlet pressure FINE mode	mbar	2
Max. Inlet pressure ULTRA mode	mbar	0.4
Pumping speed during evacuation	m³/h	25 at 50 Hz
Helium pumping speed ULTRA mode	L/s	2.5
Detectable masses		2,3,4 amu
Mass spectrometer Sector field		180°
Filaments ion source Iridium/Yttria coated		2
Calibrated built-in leak	mbar•L/s	∼ 10-7
Test port	DN 25 KF	1
Adjustable triggers		2
Interface		RS 232
Chart recorder output	V	2 x10
In/Outputs		PLC compatible
Permissable ambient temperature (during operation)	°C	+10 to +40
Weight	kg lb	110 242
Dimensions (l x w x h)	mm in.	1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39
Supply voltage (EU)	V (ac)	230 (± 10 %) 50 Hz
Supply voltage (US)	V (ac)	100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
Power consumption (typ.)	VA	1100
Power consumption (max.)	VA	1100