普发真空粗气体计量阀，手动启动 EVD 010 H-宜器服务网

产品详情

EVD 010 H 粗气体计量阀，手动启动

用于缓慢、手动流动
使用寿命为 200000 次开关循环

技术参数

型号	EVD 010 H
压力最大值（绝对）	3000 hPa \| 2,250 Torr \| 3,000 mbar
密封件	氟橡胶
最低工作压力	1 · 10^-7 hPa \| 7.5 · 10^-8 Torr \| 1 · 10^-7 mbar
最小可控气体流量	4 · 10¹ hPa·l/s
相对于压差打开	3000 hPa \| 2,250 Torr \| 3,000 mbar
连接法兰	DN 10 ISO-KF
驱动	手动
外壳	铝
密封性	1 · 10^-9 Pa m³/s \| 7.5 · 10^-9 Torr l/s \| 1 · 10^-8 mbar l/s
最大可控气体流量	1.7 · 10³ hPa·l/s
烘烤温度最大值	≤ 100 °C \| ≤ 212 °F \| ≤ 373.15 K
类型	气体控制阀
重量	0.2 kg \| 0.44 lb

产品尺寸

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