普发真空带独立隔离阀的气体计量阀，手动启动 EVN 116-宜器服务网

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EVN 116 带独立隔离阀的气体计量阀，手动启动

可切断且不需改变已置气流
高性能
数字式位置显示
再现性优异
极小死点容积
控制范围非常大

技术参数

型号	EVN 116
供应范围	带有单独截止阀
外壳	不锈钢
密封性	1 · 10^-10 Pa m³/s \| 7.5 · 10^-10 Torr l/s \| 1 · 10^-9 mbar l/s
无用容积	0.032 cm³
最小可控气体流量	5 · 10^-6 hPa·l/s
类型	气体控制阀
配量套筒	氟化塑性体
驱动	手动
压差	2500 hPa \| 1,875 Torr \| 2,500 mbar
密封件	氟橡胶
工作温度	≤ 80 °C \| ≤ 176 °F \| ≤ 353.15 K
最大可控气体流量	1 · 10³ hPa·l/s
烘烤温度最大值	≤ 150 °C \| ≤ 302 °F \| ≤ 423.15 K
连接法兰	DN 16 ISO-KF
重量	0.4 kg \| 0.88 lb

产品尺寸

EVN 116-1.png

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