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苏州费马
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FSEM C200
FSEM C200

苏州费马 喷碳仪 FSEM C200

品牌名称：苏州费马

产品型号：FSEM C200

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产品规格
产品介绍
1.设计美观，操作简单，界面友好、一键镀膜
2.可直接放置12个标准钉型样品台，无需工作人员介入，节省人力和时间
3.采用ARM架构，全自动控制，控制精度高，操作简单
4.低电压，稳定真空环境，可适配多种规格碳材料0.8、1.2、2.4及碳棒等
5.镀膜颗粒可达纳米级别，溅射颗粒＜5nm制备薄膜致密，适合高分辨SEM使用
6.采用低压脉冲技术，利用W型平面热蒸发减少温度的变化，适用于温度敏感样品
7.配有多个传感器实时监控运行状态，保证仪器使用安全
8.长期运行，稳定可靠，无需特殊维护
9.具备开关机数据存储记忆，修复长期应用偏差
10.仪器可全自动控制，更方便用户实现各种自动化控制操作
11.软件遵循GMP规范，方便实现用户管理，使用记录等功能
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产品详情

FSEM C200 喷碳仪

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FSEM系列喷碳仪适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统，从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时，紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。FSEM系列喷碳仪为全闭环真空设计，配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态，保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵，快速获得＜1Pa的真空环境，高精度的脉冲电源采用恒压控制，镀膜更纯，膜厚更准，结果重复性更好。

 

产品特点

  • 设计美观，操作简单，界面友好、一键镀膜

  • 可直接放置12个标准钉型样品台，无需工作人员介入，节省人力和时间

  • 采用ARM架构，全自动控制，控制精度高，操作简单

  • 低电压，稳定真空环境，可适配多种规格碳材料0.8、1.2、2.4及碳棒等

  • 镀膜颗粒可达纳米级别，溅射颗粒＜5nm制备薄膜致密，适合高分辨SEM使用

  • 采用低压脉冲技术，利用W型平面热蒸发减少温度的变化，适用于温度敏感样品

  • 配有多个传感器实时监控运行状态，保证仪器使用安全

  • 长期运行，稳定可靠，无需特殊维护

  • 具备开关机数据存储记忆，修复长期应用偏差

  • 仪器可全自动控制，更方便用户实现各种自动化控制操作

  • 软件遵循GMP规范，方便实现用户管理，使用记录等功能

 

技术参数

设备型号

FSEM   C200

蒸发类型

脉冲W型平面热蒸发

蒸发源

高纯碳绳0.8、1.2、2.4（mm）、高纯碳棒可选，可检测通断状态

控制模式

5寸触摸屏全自动程序控制

真空系统

机械旋叶泵，极限真空＜1Pa真空抽速1L/s

真空测量

全量程皮拉尼数字真空计

工作真空

2-8Pa，真空精度可达0.1Pa

样品台

可升降，可放置12个标准钉型台，直径可达65mm

蒸发电源

恒压脉冲DC蒸发电源0-10V，Max80A

脉冲频率

100ms-1s，具备预热除气功能

溅射时间

≤600s，控制精度1s

真空腔室

φ130×100mm

供电要求

200-240VAC   50Hz，功率1500W

外形尺寸

420×260×280mm

 

配置清单

序号

名称

规格

数量

1.

喷碳仪主机

FSEM   C200

1台

2.

高纯碳绳

φ0.8*1m

1个

3.

高纯碳绳

φ1.3*1m

1个

4.

真空管路

KF16-1.2m

1根

5.

机械真空泵

VRD-4

1台

6.

合格证、保修卡、说明书、装箱单

/

1套

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