日本小野 显微镜测量单元 LV-0381

LV-0381 显微镜测量单元 概述

LV-0381是LV系列激光多普勒振动仪配套使用的显微镜测量单元。激光多普勒振动仪与显微镜光学系统相结合，激光的投射焦点可调至最小φ2.5 µm，微小物体的振动测量频率可达3 MHz(选配功能为20 MHz).配有同轴照明装置与2台倍率不同的数码相机，可以方便迅速地确定测量位置，并可记录静止画像。可以用于微型机器，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）等微小构造物，压电元件，陶瓷电容等电子器件等的振动状况，工作状况的非接触测量观测，进行高精度，高分辨率分析评价。

※ LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时

LV-0381 显微镜测量单元 应用领域

• 微型机器，MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）的振动分析
  

• 微小结构的振动分析
  

• 压电元件，陶瓷电容等电子器件的状态测量
  

• 昆虫，生物的活动等现象测量
  

LV-0381 显微镜测量单元 产品特点

• 5倍～50倍的动作距离的物象镜头，激光焦点直径最小φ2.5 µm以下
  

• 被测物与照射激光，经2个不同倍率（视野）的途径同时观测确定测量位置※1
  

• 可测量0.3 Hz～3 MHz（20 MHz）的振动频率（使用LV-1800）
  

• 从1维（表面振动）还可到功能扩展到2维（表面振动与面内1轴），3维（X，Y，Z）振动测量※2
  

• 配套激光多普勒振动仪 LV-1800，LV-1710*/LV-1720*/1720A*等
  

※1　LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时
※2　关于功能扩展可商谈对应

LV-0381 显微镜测量单元 技术参数