监控掺杂浓度对于控制TOPCon工艺质量是至关重要。一些测试方法诸如载流子寿命测量和荧光成像技术，都可将微波或光学信号转换为载流子浓度信息。然而，这些间接测试方法需要复杂的校准步骤，且容易受到外部干扰的影响。相比之下，四探针(4PP)测量的方块电阻（Rs）可以直接提供载流子迁移率和接触电阻等电学特性，这使其成为TOPCon工艺中不可或缺的监控手段。
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