适用范围：
本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。
读者对象：
半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。
基本信息
标准号：GB/T 16944-2009
标准名称：电子工业用气体 氮
英文名称：Gas for electronic industry—Nitrogen
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
出版语种：中文简体